傳統(tǒng)的純水方法不能制備出超純水，對于這種水，有的稱為高純水，有的稱為超純水，目前還沒有系統(tǒng)的定義。也沒有劃分等級界限，從商業(yè)觀點看叫超純水似乎比高純水更好聽一些。

現(xiàn)在制備超純水的方法是將各種純化水的新技術科學地結合起來，不僅能生產(chǎn)超純水，而且變得非常容易。目前市售的超純水器就是一個成功的例子。自來水進去超純水出來，非常方便。而且使用壽命也越來越長。

超純水器制備超純水的原理和步驟大體如下：

1.原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。

2.機械過濾：通過砂芯濾板和纖維柱濾除機械雜質(zhì)，如鐵銹和其他懸浮物等。

3.活性炭過濾：活性炭是廣譜吸附劑，可吸附氣體成分，如水中的余氯等;吸附細菌和某些過濾金屬等。氯氣能損害反滲透膜，因此應力求除盡。

4.反滲透膜過濾：可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。出于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。

5.紫外線消解：借助于短波(180nm-254 nm)紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機化合物，如甲醇、乙醇等，使其轉(zhuǎn)變成CO2和水，以降低TOC的指標。

6.離子交換單元：已知混合離子交換床是除去水中離子的決定性手段。借助于多級混合床獲得超純水也并不困難。但水的TOC指標主要來自樹脂床。因此高質(zhì)量的離子交換樹脂就成為成功的關鍵。所謂高質(zhì)量的樹脂，就是化學穩(wěn)定性特別好，不分解，不含低聚物、單體和添加劑等的樹脂。

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